Porteur du projet
Ion Beam ServicesPartenaires
R2D Ingénierie, IBS, MGP Instruments, Metraware, LP3, GREMIFinanceurs
FUI,![](https://www.pole-scs.org/wp-content/themes/polescs/assets/images/projet-innovant.png)
ALDIP
Activation Laser de Dopants implantés par Immersion Plasma
Activation sans dégradation thermique du substrat
Activation très haute température pour matériaux fort gap
Activation sans diffusion pour microélectronique avancée